Poliranje površine silicijskih blokova izravno je povezano s kvalitetom rezanja silicijskih pločica. U procesu poliranja, silikonski blok se sukcesivno polira kroz grubu i finu brusnu ploču. Funkcija grube brusne ploče je rezanje oštećenog sloja na površini silikonskog bloka; funkcija finog brusa je poliranje i uklanjanje tragova oštećenog sloja i grubog pijeska na površini silikonskog bloka.
1. Trenutno stanje
Radionica monokristalnih silikonskih pločica otvara stroj za ubrzavanje laserskog rezanja. Ako je operater malo nepažljiv tijekom stvarnog rada, kvaliteta laserskog rezanja silikonskog bloka bit će loša. Glavne točke su: na površini laserski rezanog silikonskog bloka postoje tragovi piljenja; veličina silikonskog bloka je "ispupčena" u sredini; oblik lokalnog silikonskog bloka je savijen zbog odspajanja. Trenutačno brusna ploča u radionici više ne može u potpunosti ukloniti tragove piljenja uzrokovane laserskim rezanjem; za silikonski blok "ispupčenog trbuha", zbog ograničene sposobnosti poliranja kotača s četkom, ne može ukloniti veliku veličinu u sredini. U ovom trenutku postoji hitna potreba za brusnim kotačem s jačom sposobnošću brušenja.
2. Provedite strategiju
Glavni princip stroja za poliranje koji se trenutno koristi u radionici je poliranje površine silikonskog bloka kroz grubo brusno kolo i fino brusno kolo. Trenutno je gruba brusna ploča stroja za poliranje zamijenjena dijamantnom brusnom pločom, a fina brusna ploča koristi brusnu ploču s četkom za poliranje silikonskog bloka.
Eksperiment koristi brusnu ploču vezanu dijamantnom smolom. Svi prirodni umjetni dijamanti mogu se koristiti za brušenje. Dijamant je izuzetno jak oblik ugljika. Amfifilan je prema željezu i uzrokuje brza oštećenja. Vezivo sredstvo je epoksidna smola. Tipsko vezivo ima određeni učinak prigušivanja vibracija uzrokovanih trenjem tijekom života. Koristeći snažnu snagu brušenja dijamantnog brusnog kotača, mogu se eliminirati neki površinski problemi silikonskog bloka uzrokovani strojem za rezanje, kao što su: postoje tragovi pile na površini silicijskog bloka koji je izrezao laser; veličina silikonskog bloka je "ispupčena" u sredini; Dobri rezultati mogu se postići savijanjem oblika lokalnog silikonskog bloka uzrokovanog lomom, izvođenjem osnovnog poliranja, a zatim korištenjem finog brusnog kotača za poboljšanje površine silikonskog bloka.
